在集成电路和LED芯片的制作过程中，高纯氧化亚氮经化学反应生成的SiO2膜被沉淀到硅衬底上，属于化学气相沉积过程；公司于2019年12月上市，募投资金用于四个项目，其中气体中心建设及仓储经营项目、电子气体生产纯化及工业气体...
2021-09-26
